Сейчас у меня вакуумная система представляет собой насос Комовского с прикрученным к нему электромотором, хорошим вакуумным маслом и охлаждаемым до -10 по Цельсию. Чиллер работает не только на охлаждение насоса, морозилка собирает конденсат из откачиваемого обьема.
Форвакуум у меня получается, в принципе, неплохой для такого говна – 1-2Па.
Вот только мне нужен вакуум по-сильнее.
Денег и варианта найти рабочий турбомолекулярник – нет.
Вопрос – есть ли альтернативы которые можно собрать «на коленке»? Да, знаю про паромаслянные, но не смог найти методику расчёта или готовый проверенный конструктив.
Вопрос, что есть по различным плазменным/ионным насосам? Высокие напряжения различной мощности не проблема, магнетрон в загашнике тоже валяется.
Варианты решения проблемы у меня пока такие:
- МГД-насос. Водяное охлаждение электродов я обеспечу, магнитное поле под 1.5 Тл – тоже. Остается вопрос с геометрией системы и с её эффективностью при снижении давления – я не уверен как поведет себя тлеющий разряд при снижении давления. Он уже при 1Па зажигается хуже, чем при 10Па, что будет дальше – ХЗ.
- Ионный насос. В большинстве статей упоминается такое приспособление в комплекте с газопоглощающими металлическими ловушками и применяются для сверхвысокого вакуума. Есть ли конструктивы для работы при низком вакууме?
В итоге хочется иметь давление в системе 1-10 мПа или ниже.
