https://zen.yandex.ru/media/electromozg/da-v-rossii-skoro-poiavitsia-svoi-bez...
Цитата:
В общем, всё идёт к тому, что в районе 2024-2025 годов (по моим оценкам) у России будет свой первый прототип безмасочного литографа для производства чипов по нормам 28 нм и 16 нм, а работы по дальнейшему уменьшению техпроцесса, несомненно, продолжатся.