nginx Too many open files

связка nginx+apache
не стартует nginx, запускаю вручную
в лог пишет
[emerg] 5387#5387: open() «/usr/local/apache/domlogs/блабла.com.error.log» failed (24: Too many open files)

гуглил, игрался с лимитами
worker_rlimit_nofile 655350;
* soft nofile 163840
* hard nofile 163840
ulimit -n 500000
fs.file-max = 700000

ничего не помогает
если использовать только апач то работает
на серваке 400 сайтов